孙君，你过分了 第315章

　　吴枢机挺厚道，哪怕是做做样子，孙明远也相当满意，“融资的办法不仅仅借钱，上市也是一条路，康师傅、明远汽车、动视电脑、MTS软件、动视半导体都安排在欧美上市。

　　电器、电池、电机、机车、动力这些明远系公司，还有动视设备都在安排，准备香港上市，东方置业、动视电话、加州水泥、香港电灯也在发行新股票增资。

　　还有八九年，我收购了一批外资企业的股份，现在我国对外开放的大势已定，这些收购都翻了好几倍，有些非主营业务，我都在处理……要不然我也不至于有闲心搞足球！”

　　吴枢机长出了一口气，“那就好，要不然接下来，我没办法跟你开口呀！”

　　“我就不应该跟您说！”孙明远哈哈大笑，“不过就算我不说，过几月，你肯定能看得上，我在国内外的发展以及各种战略规划，会定期给中央局一个报告！”

　　吴枢机今年才五十岁，就已经是上海一把手，前途绝对无量，接下来大概率进入中央局，所以就有了孙明远这番话。

　　吴枢机不好回应，米市长很吃惊，“明远同志，你要定期向中央报告？”

　　“那是自然，日本韩国的大财团也要和国家定期沟通、汇报，要想成为顶尖的跨国财团，要想运作一大堆大项目，没有政府撑腰是绝对不行的！

　　想要让政府撑腰，那就要付出代价，让国有资本入股，定期汇报发展计划都是应该的，你中有我，我中有你，这就是现在国外财团的股权结构，当然了，这一切也都有前提，都要讲规矩，只要讲规矩，就要长久……”

　　听孙明远这么说，吴、米等人非常微妙的对了对眼神，此时他们隐约明白为什么孙明远能成为国务顾问，不仅仅是他资本雄厚，折腾能力强，也和他头脑清楚有很大的关系，能说出这样一番话，就说明他和香港那帮人有本质的区别。

　　一行人一边交谈，一边移步至不远处的另一栋崭新建筑——动视半导体（上海）一条闪存试验线，研发人员眉头紧锁地在调试参数……

　　孙明远介绍道：“这里的设备十分昂贵精密，好些都是定制的，你看看这台，两百多万美元看都不看不见！”

　　“这么贵？”

　　“是呀，我们要开发的是闪存，这是一种新型存储器，其很多制造工艺与传统存储器不同，必须定制！”孙明远如数家珍般介绍闪存的特性：“不过相对于需要追求极限制程的CPU逻辑芯片，它对晶圆线宽的极限要求暂时没那么苛刻，很适合我国发展。

　　目前传统存储器主要是日本和韩国这两家在竞争，十分残酷，我体量虽然不小，但也不愿意，也不敢随便掺和，听说首钢想和NEC合作搞，我是不看好的，首钢虽然挺有钱，但也玩不转这种游戏！”

　　吴枢机倒吸了一口气，孙明远不敢玩，还明言首钢玩不转，储存器的门槛竟然如此之高？不过他没有表态，也没办法表态，而是问道，“这种新型储存器现在有多大的市场？”

　　“现在的市场规模不大，只有一两亿美元，不过潜力巨大，丝毫不逊于液晶！在我看来，未来所有的移动设备——手机、相机、音乐播放器……都离不开它！

　　而且很巧妙的是，美日欧韩目前在这一块投入都不算大，我可以抢一个先手，获得一些必要的专利，到时候遇到残酷竞争，也能抖一抖！”

　　“这么一说，又是一等一的好宝贝！”

　　孙明远邀请吴书记进入旁边的研发实验室，在一个布满接口和仪器的实验台上，孙明远拿起了一台略显笨重、像是初代DV的黑色设备——动视半导体正在秘密研发的工程样机：一款数码照相机。

　　他对着窗外按下快门，清脆的快门声响起，他随即熟练地打开相机底部仓门，取出了一块火柴盒大小的闪存卡。

　　在工作人员的操作下，闪存卡通过一个特制的转换器接入了一台个人电脑，点开操作软件，点击打印机。

　　片刻之后，旁边的热敏纸打印机发出了滋滋的运转声，一张虽然分辨率不高、色彩也不算鲜艳，却不需要底片、不需要冲洗、瞬间就能得到的实体照片，缓缓输出出来。

　　吴书记接过这张还带着机器温度的照片，仔细端详着图像轮廓，眼中的惊讶再也无法掩饰。在这个富士、柯达胶卷巨头统治影像帝国的时代，这简单的一套流程，如魔法般预示着一个无需感光化学、无需漫长冲洗的影像新时代的序幕！

　　“怪不得你说那些感光材料厂、胶片厂得尽快转型了……”吴书记喃喃道，仿佛看到了一个庞大产业的黄昏。

　　“没错，当我们的闪存成本和容量突破某个临界点，当数码相机开始普及走入千家万户时，柯达、富士所代表的胶卷工业，‘末日’就到了，这个时间点很快！”

　　吴书记指着那块小小的卡片，思维极其活跃，“既然可以存照片，那肯定也能储存程序、文件……那现在的软盘，还有光盘是不是……”

　　“毫无悬念！”孙明远点点头，给予肯定，“但目前最大的障碍还是成本和容量。闪存卡太贵了，存储空间也太小。这需要过程。”

　　孙明远眼中闪过一丝兴奋，“不过我们并非孤军奋战！中科院半导体所有几位研究员最近提出了一个非常新颖的存储单元结构设计方案，正在和我们合作进行验证。

　　如果实验成功，或许能在未来几年将闪存的单位存储成本显著降低！这对我们抢占国际市场至关重要！”

　　“咱们的科学家还有这样的本事？能提出产业前沿的东西？”

　　“说实话，我也没想到！”

　　孙明远确实没想到，不过中国科学家的专家提出这个方案也有原因，中国半导体设备不行，制程上不去，那只能想着在低制程工艺上寻求他们，然后他们就提出了一个技术方案，经过分析，这个方案可以提升存储密度，并实现性能优化。

　　事实上，孙明远并不知道这种技术叫作混合键合技术，将存储单元与逻辑电路分步制造后精密集成，显著减少延迟与能耗，确保器件稳定可靠，是后世长江存储的看家技术。

　　当然了，这种方案目前有很多问题，比如分步制造需额外掩模步骤，键合工艺良率低，整体成本可能增加；又比如比如键合对准精度仅1-2μm，而闪存需要亚微米级互连，另外存储单元和逻辑电路的材料差异导致键合后易开裂。

　　但在孙明远看来，尽快实现高容量存储意义重大，比如明远游戏机，现在不得不用光盘加上内存缓冲，但读取速度不行，若是搞出了高容量储存器，那就完全不同了，所以哪怕技术不成熟，他也愿意投资研发……

　　孙明远很满意的说道，“我们的人才不是不行，只要有合适的平台、充足的资源和明确的目标引导，他们完全有能力成为世界级的技术专家！”

　　走出半导体厂区，吴枢机望着滚滚东流的黄浦江水，回味着刚才令人目不暇接的技术冲击和产业震撼，他郑重地向孙明远抛出了关键问题：“明远，今天这一趟，真是大开眼界。

　　从显示器到存储芯片，这每一步都关乎国家未来的科技命脉。那么，以你的眼光和经验，结合我们上海的实际，你看我们未来的经济转型，真正的重心和突破口应该聚焦在哪里？”

　　孙明远笑着说道，“吴书记，上海的发展定位从来不是问题。经济转型的路径，在我看来，其实非常清晰。”

　　他伸出两根手指：“第一，加快宝山钢铁，建设，支持宝钢不断扩大产能，它既是GDP的压舱石，也是高端特钢支撑下游高端装备制造业的基石”

　　孙明远顿了顿，“第二，就是我刚才带您看的这两个方向——半导体及相关产业，再加上上汽的汽车制造。

　　半导体，还有液晶、通讯这些，您可以放心，上海是我们的大本营，我们的投资会越来越多，我也相信必然会有无数企业被吸引到上海，形成产业集聚，这一块问题不大，上海的同志等着就是！

　　但汽车制造，说实话，我并不看好合资，上汽现在慢慢学会了造车，但光会造车不行，得自己会设计车，还要想办法走出国门，这一块大众是绝不会教授的！

　　要想做好这一切，就需要上海的领导班子们想想办法，督促上汽发展自主品牌和新能源汽车，这一块明远汽车已经迈出了这一步，我希望上汽和一汽、二汽能跟得上！”

　　听到这里，吴枢机有些感慨了点点头，如果说电子信息半导体这些，国内还可以有种种理由，说被封锁什么的，但汽车就不同了，这一块不存在被封锁！

　　上汽和大众合资的时间和明远搞小汽车几乎是同步，但现在明远汽车完全不一样了，不仅仅自行车、三轮车和老头乐这些迅猛发展，已经搞出了两款自主轿车和SUV，还在英美卖得挺不错，新能源车样车也出来了，这个差距也太大了！

　　虽然孙明远投资巨大，上汽比不上，但孙明远的成功，同样也说明被动的“市场换技术”不靠谱，可无奈的是，大大小小的国有车厂想得都是合资……

　　正如孙明远所恭维的一般，吴枢机即将进入中央局，这几乎是明牌，到时候他是党和国家领导人，他未来肯定不仅仅为上海服务，也要为国家服务。

　　按照总理模式培养的吴枢机考虑问题自然更加深远，他越发意识到一个问题，传统模式真得不行了，必须跟孙明远后面，学得越彻底越好！

第381章 进步飞速

　　到了第二天，一行人来到了“沪明半导体材料有限公司”，这是孙明远投资，上海冶金所创办的企业，何济世同志的大公子，何建中就是这家企业的技术负责人，他现在要做的就是实现六英寸硅晶圆的量产，而此时项目组已经实现了重大突破。

　　“孙助理！吴枢机、米市长欢迎视察！”何建中声音洪亮，主动迎接出来。

　　“建中大哥，辛苦了。”孙明远与他握手，“去年我们谈这个项目时，我给了你五年时间。没想到短短时间，你不仅把架子搭起来，连试验线都跑起来了？走，带我们去开开眼！”

　　吴枢机和米市长也与何建中握手，大家一边寒暄，一边换上洁净服，经过层层风淋除尘，终于步入了核心的硅片生产车间。

　　巨大的石英坩埚如同沉默的巨鼎，内部熔融的多晶硅原料在高温下散发出熔岩般的橙红色光芒，而在炉顶牵引杆下，一根银光闪闪、圆润如柱的单晶硅棒正被缓缓向上提拉，宛若从炽热岩浆中凝结的完美水晶。

　　“这是6英寸单晶硅棒的拉制现场。”何建中指着巨大的设备介绍道，“我们采用的是改良的柴可拉斯基法，核心目标是纯度、结晶完整性以及控径精度。”

　　他走到旁边的品质监控区，拿起几片切割打磨好的试验晶圆，指着上面肉眼几乎不可见的小点或极细微的条纹：“孙总请看，这是我们试产的6英寸晶圆样品。

　　目前良率还比较低，主要问题集中在三个方面：微缺陷、氧含量/分布控制，还有就是晶片翘曲度和局部电阻率的均匀性问题，这些都是硬骨头，每一个都是量产路上的拦路虎。”

　　吴枢机仔细看着那片在洁净灯光下闪烁着内敛银光的硅片，它虽小，却承载着芯片制造千层万层的精细结构，一丝微小的瑕疵都可能导致下游制造环节的灾难。

　　“这些缺陷，影响几何？”

　　“微缺陷会导致芯片制造的层间短路或断路，造成芯片失效；氧含量分布不均可能影响局部热稳定性和电学特性；翘曲度太大，则会使后续光刻的焦平面不平，导致成像模糊甚至失败；电阻率不均更直接影响芯片性能的稳定性和良率。”何建中如数家珍，脸色凝重，“可以说，任中一项控制不住，这片子就是废品，或者说只能用于要求极低的产品。”

　　“攻克需要多久？多久能拿出合格的量产品？”

　　何建中深吸一口气，展现出一种技术带头人特有的、基于数据的自信：“困难很大，但根据我们现在的实验数据和迭代速度，我有信心在两年内啃下这些主要技术难关，实现六英寸晶圆的稳定量产！良率目标是达到国际二流水准！”

　　“两年？有把握吗？”

　　“有！”何建中重重点头，“这得益于两方面：一是孙总的支持，我们的研发经费很充裕，让我们可以毫无顾虑地购买最好的原料、试验不同的工艺、引入顶级顾问、甚至自己设计制造专用设备。钱，是研发的第一推进力！”

　　他顿了顿，话锋中透露出对国内基础工业积累的认知：“二是国内在材料科学和基础工业上，本来就有相当好的底子，像硅材料提纯、晶体生长理论、精密设备制造，国内高校和研究所都有数十年的研究积累。

　　以前是巧妇难为无米之炊，没有经费支持大规模工程化。现在有了钱，我们整合这些分散的人才和技术资源，在材料环节的突破速度超出了我的预期。

　　像高纯多晶硅原料、配套的高纯石英坩埚、切割用的金刚石线等关键耗材，我们已经找到了国内合作单位或实现了小规模自主突破。”

　　他引着两人走向正在调试的晶圆切割区，指着那些闪着冷冽锋芒的切割线：“比如这台切片机，核心部件就离不开西安一家军工厂的技术突破。”

　　接着，他又指向一间挂满工程图的办公室：“还有就是国际环境的微妙变化。西方在5-6英寸这个层面已部分放开。我们通过一些特殊渠道，引进了一些关键的监控设备、温控系统和部分替代性的辅助设备。”

　　何建中继续说道，“这几年，我们与俄罗斯的相关技术人员，做了不少交流，也邀请了好些位国外专家，获益匪浅，他们的技术人员给了我们极其重要的启发！”

　　孙明远听完，相当满意，“好！非常好！当初你说可以做到，我还有些不放心，现在这进度，这思路，比我预期的还要快、还要稳！6英寸一旦搞定，下一步？”

　　“8英寸！”何建中毫不犹豫，“6英寸的设备和经验会形成坚实的基础，我们已经启动8英寸硅片的技术预研和关键装备的布局，这是一个跳跃，但我们有路径图了！”

　　车队没有停歇，驶入了一片技术等级更显神秘的区域，这里名义上是上海电力的研发中心，实际上却是孙明远的光刻机研发部门，其母公司是长安精密机械公司，表面上与孙明远没有任何关系。

　　长安精密机械公司实际上是孙明远给华实出钱，华实会同成飞一起合作开发，用于中高端数控机床和各类精密设备的研发。

　　为了这家公司的发展，孙明远可是下了血本，不仅仅从见钱眼开的英国想办法引进各种设备，也花大价钱从老毛子引进设备和人才，硬生生堆出来的国之重器。

　　“这是我们在研的后道光刻机。”负责这个项目的赵研究员指着一个相对小巧的光刻设备单元介绍，“后道光刻用于芯片制造后段的封装、划片、打线等环节，精度要求相对较低，难度较小，我们已经取得了突破！”

　　“我们整合了国产的光学镜头、欧洲进口的步进电机、英国生产的精密导轨系统，现在样机的重复定位精度和线宽控制已经达到封装应用的要求，预计一年内可定型量产，部分替代进口，满足我们自身需求……”

　　孙明远点点头，接着去考察另外一个关键设备，液晶面板光刻机，主要用于在玻璃基板上制造TFT晶体管阵列和彩色滤光片图案。

　　“液晶光刻对套刻精度要求也不如CPU光刻那么极端，线宽通常在3-5微米，我国理论上可以研发，但难点在基板尺寸巨大……”

　　赵研究员介绍道，“我们与中科院和机电委员会下属研究机构合作，主攻大视场投影光学系统和平行光照射，进展比较顺利，预计明年上半年第一代样机可以出来……”

　　这些也就罢了，说到底技术难度不算大，但等到365nm光源的 i线前道光刻机，负责的孔研究员告诉他两年内机器就可以上生产线。

　　虽然这种光刻机光源属于汞灯光源，虽然从东德和前苏联搞来了不少技术，虽然从英国搞来了一些欧美封锁的激光干涉仪等产品，但孙明远很清楚，目前国内的技术能力是有限的，i线前道光刻机没那么容易突破，他让研发主要是练手。

　　所以孙明远皱眉道，“我对前道光刻机的要求不高，你们把相关实验做扎实了，砍柴不误磨刀时！”

　　顿了顿，他强调道，“这两年我搞飞机发动机，发现国内搞了几十年，都没有搞出真正堪用的航空发动机，除了上级拨款不够，对时间卡得紧，指标又定得高以外，也跟咱们的同志做事不细致，很多该做的试验草草了事有关。

　　我要的是真正能够对外销售的光刻机，不是向上级报喜的攻关项目，光刻机搞出来后，不仅自己用，还要想办法对外出口，你们不要把国内研究机构的破毛病带进来！

　　我宁愿你们慢慢来，也不希望你们先给我一个惊喜，但上了生产线，这个问题，那个问题，实际上不能用！

　　我这个资本家给钱爽快不假，但我眼里揉不得沙子，我投了钱，没有结果，我是要算账的，到时候让赔钱都是客气的！”

　　这番话说的非常不客气，吴枢机和米市长自然要打圆场，孙明远也没有继续，而是来到了他固执己见推行的液浸光刻机项目。

　　负责这个项目，并不是国内技术人员，而是孙明远费尽心思挖来的林本坚博士，“孙先生，您好，欢迎指导！”

　　林本坚博士带着孙明远来到一处实验装置，那里密布着略显陈旧的激光器、镜片组、复杂的水槽和管路系统，这里面有很多来自于林本坚在IBM的技术积累，粗粗估计，光光这些，就给孙明远节省了几百万美元。

　　而这一切甚至于还不是孙明远有意为之，IBM出现巨大亏损，正在转型，一些看起来不那么重要的项目组被撤销，这就便宜了很多美国高科技公司和孙明远，林本坚仅仅是他的一部分收获……

　　林博士的神色变得专注而充满挑战的兴奋：“先生，这里就是我负责的浸没式光刻原型验证项目，条件有限，我使用早期汞灯光源（436nm波长）步进式光刻机进行改造实验。

　　虽然早期汞灯光源波长较长，但原理是共通的——关键在于验证液体作为浸没层对提升等效数值孔径的理论可行性！”

　　林本坚引着大家走到观察窗：“请诸位看现在进行的关键步骤。”

　　在光刻机的物镜下方，不再是传统的空气。一层经过特殊设计的、极其纯净的液体（并非纯水，而是为436nm优化折射率的特制油），以精密可控的方式，覆盖在涂有感光胶的硅片表面！

　　物镜的末端，稳稳地浸入在这一层薄薄的液体之中！旁边标志性的汞灯光源发出特有的可见光偏紫色的光芒。

　　吴枢机眉头紧锁，技术思维的惯性让他困惑，“林教授，这液体难道不会污染精密光学元件、产生气泡扰乱光路吗？”

　　“确实有这个问题，但有办法克服！”

　　就在此时，现场实验指挥官下达指令，光源激发，光线穿透特殊油层，在硅片表面的光刻胶上瞬间完成了复杂图形的一次曝光。高精度移动台平稳移动，准备下一次曝光，实验完成后，硅片被迅速送往隔壁的显影分析实验室。

　　孙明远默默等待着，几十分钟后，分析报告抵达林本坚手中，他仔细审视着线宽测量数据、图形边缘陡峭度、分辨率极限测试图案的清晰度，以及最关键的，浸没与非浸没条件下的分辨率对比图谱！

　　他向孙明远介绍：“孙先生，您看，主要技术指标全部达到预期设计线宽，虽然原型改造粗糙，还存在诸多工程挑战，比如液体挥发控制、稳定性、对光学元件的长期影响等等，都需要仔细研究。

　　但在同等条件下，对比未浸没的同台机器，分辨率提升幅度完全符合理论计算，浸没技术路径在光学原理层面的可行性，被证实了……”

　　他看向孙明远，不断游说着，“现在国外新一代光源是248nm，但大陆基本没有开发，就算投资几亿美元开发，也会遇到各种专利的阻拦。

　　我们这条路线一旦取得突破，就不需要花费巨资开发这种新光源，而且相关技术积累也可以用于未来的深紫外和极紫外光刻机的开发，我相信这条路线非常适合大陆！”

　　“林博士！”孙明远很激动的点点头，“辛苦了！把你请来，负责这个项目的研发，是我做出的最正确的决定！”

　　当天考察结束，心中激荡着成功喜悦的孙明远邀请林本坚共进晚餐，在一间安静的包间里，没有了白天的喧嚣和旁人，两人放松下来。

　　“林博士，今天真是载入史册的一天。敬您！”孙明远举杯，由衷说道，“没有您对物理的深刻洞察和不懈坚持，这条路不会这么快就走通。”

　　林本坚谦和地笑了笑，眼中带着一丝不易察觉的回忆：“孙先生，过誉了，其实，这种‘挑战主流’的事情，我并不是第一次做。”

　　他放下酒杯，语气平静地讲起一段往事：“您可能不知道，在IBM做深紫外光刻研究时，也是‘离经叛道’。

　　IBM内部，甚至在业界，很多人认为X光微影才是下一代光刻的主流方向。负责X光微影项目的负责人，恰恰是我的顶头上司。他所掌握的资源、团队规模，都是我的深紫外团队望尘莫及的。”

　　林本坚露出一丝带着苦涩的自嘲笑容：“我们的处境非常尴尬。你辛苦钻研的方向，上面并不看好，投入又少，甚至还要面临被随时砍掉的风险。

　　但我坚信，DUV在材料选择、光源能量、尤其是可量产性上，拥有X光难以比拟的潜力，而X光需要极其昂贵的同步辐射光源，且掩模版制作、对准都是巨大难题，DUV路线路径更清晰，更有可能实现。”

　　他的眼神忽然闪动着一种少有的狡黠和叛逆的光芒：“某天，X光微影团队宣称取得了‘阶段性重大进展’，我的顶头上司非常高兴，给整个部门每人发了一件T恤，上面印着‘X ray works!’作为庆祝。”

　　孙明远饶有兴致地问：“哦？那您呢？也穿了？”

　　林本坚哈哈大笑起来：“我是穿了！但我可不是默默穿。我拿起马克笔，在T恤背后大大地加了三个字——变成‘X ray works – for the dentists!’（X光有用——给牙医用！）

　　然后用磁铁把这件‘创意T恤’牢牢贴在我办公桌后面的文件柜上，正对着过道！昭告所有路过的同事！”

　　孙明远闻言，笑得前仰后合，拍案叫绝：“妙！太妙了！后来呢？你上司没生气？”